Интерфакс: новосибирские физики планируют восстановить ТНК в Зеленограде за три года

Новосибирский Институт ядерной физики им. Г. И. Будкера СО РАН планирует восстановить технологический накопительный комплекс (ТНК) в Зеленограде за три года. Директор института, академик РАН Павел Логачев, сообщил, что ТНК будет использоваться для разработки отечественной технологической цепочки производства микроэлектроники.

Этот комплекс станет ключевым элементом разработки литографа, который в настоящее время производится всего лишь одной компанией в мире. Установка, созданная ИЯФ в 1980–1990 годах, ранее не была запущена из-за развала Советского Союза. Проект восстановления обойдется примерно в 500 млн рублей. Помимо этого, институт работает над созданием ускорительной части отечественного имплантора для микроэлектроники в сотрудничестве с НИИ точного машиностроения. Эти технологии считаются ключевыми для микроэлектронной промышленности, и их разработка запланирована также на три года, сообщает Интерфакс.