В ЮФУ займутся разработкой МЭМС

Одной из приоритетных задач России является обеспечение развития критических отраслей промышленности, в частности, востребованы микроэлектромеханические системы (МЭМС).

Научные сотрудники ЮФУ работают над задачами проектирования и разработки новых технологий изготовления элементов МЭМС.

На базе Передовой инженерной школы разворачивается полный цикл разработки МЭМС. В результате взаимодействия с АО "Элемент" проект получил поддержку в конкурсе на получение грантов Российского научного фонда, сообщает ТАСС.

Проект направлен на разработку технологии инкапсуляции элементов МЭМС в слоях кремниевой пластины, что обеспечит высокий потенциал коммерциализации.

Микроэлектромеханические системы составляют основу систем сенсорики. Благодаря инкапсуляции можно повысить чувствительность МЭМС и более точно реагировать на изменения измеряемых величин.

Проект рассчитан на три года, в него входит разработка технологии изготовления МЭМС емкостного типа с инкапсуляцией на уровне пластины.