Российские ученые разработали инновационную технологию, направленную на улучшение газовых сенсоров

Ученые успешно усовершенствовали метод получения тонкопленочных микронагревателей, которые могут заменить толстые платиновые проволоки в газовых сенсорах. Это улучшение способствует снижению энергопотребления данных устройств.

Основной инновацией стала двухэтапная технология отжига платиновых элементов. Первая стадия при низкой температуре необходима для распределения циркония по границам зерен платины и полного окисления в толще металлической пленки. На втором этапе материал отжигается при высоких температурах, превышающих рабочие температуры газовых сенсоров, что замедляет деградацию материала и придает ему большую термическую стабильность.

Ученые также усовершенствовали структуру материала, добавив тонкие слои циркония в сплав на основе платины и родия. Это предотвращает спекание зерен платины и обеспечивает стабильность устройств.

Полученные сенсоры, основанные на новой технологии, могут быть использованы в промышленности и быту для обнаружения утечек горючих газов. Результаты исследования опубликованы в журнале Micromachines, сообщает ТАСС.