Одной из приоритетных задач России является обеспечение развития критических отраслей промышленности, в частности, востребованы микроэлектромеханические системы (МЭМС).
Научные сотрудники ЮФУ работают над задачами проектирования и разработки новых технологий изготовления элементов МЭМС.
На базе Передовой инженерной школы разворачивается полный цикл разработки МЭМС. В результате взаимодействия с АО "Элемент" проект получил поддержку в конкурсе на получение грантов Российского научного фонда, сообщает ТАСС.
Проект направлен на разработку технологии инкапсуляции элементов МЭМС в слоях кремниевой пластины, что обеспечит высокий потенциал коммерциализации.
Микроэлектромеханические системы составляют основу систем сенсорики. Благодаря инкапсуляции можно повысить чувствительность МЭМС и более точно реагировать на изменения измеряемых величин.
Проект рассчитан на три года, в него входит разработка технологии изготовления МЭМС емкостного типа с инкапсуляцией на уровне пластины.